Leybold真空計的量程范圍

Leybold真空計的量程范圍東莞艾科自動化設備關于它的在較高壓力時(10～1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等 。在10～10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(熱傳導，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。表2 真空計的適用壓力范圍 真空計的名稱可測的壓力范圍(Pa)水銀壓力計(U型管)10～10油壓力計(U型管)10～10油壓力計(U型管)3*10～1麥克勞真空計(一般型和特殊型) 10～10彈性不變形真空計10～10隔膜真空計(機械式)10～10隔膜真空計(電氣式)10～10電離真空計(三極管型)10～10超高真空用B-A型10～10極高真空用熱陰極磁控計10～10高真空用(舒爾茨型)10～10冷陰極真空計1～10皮拉尼真空計10～10熱電偶真空計10～10熱敏電阻真空計10～10粘性真空計1～10克努曾真空計10-1～10萊寶真空計TTR91S，萊寶TTR91S真空計，TTR91S萊寶真空計，真空規管，皮拉尼計Oerlikon真空計Leybold真空計的量程范圍按照Oerlikon真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。利用力學性能的真空計典型的有波爾登規（Bourdon）和薄膜電容規；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規和熱電偶規；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。 如右圖所示，細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象，會帶動杠桿和齒輪旋轉，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應的氣壓值。這種規的測量范圍一般在100Pa至1atm。 如右圖所示，在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的不變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。這種規的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。這種規的優點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學性能的影響，使用前一般需要預熱數小時。 也叫做熱電阻真空計，它是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的。如右圖所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同，當給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準確度。這種規的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同，所以這種規需要在不同的使用氣體下標定。 如右圖所示，熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。與皮拉尼電阻規一樣，這種規也需要在不同的使用氣體下標定。 如右圖所示，熱陰極電離規中，由熱陰極即燈絲發射電子，電離真空中的氣體分子，產生離子，由收集極收集產生的離子，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進而得到氣壓大小。Leybold真空計的量程范圍德國萊寶真空計有：- 用于測量粗真空的各種工作原理的機械指針式真空表。- 各種間接測量的數顯真空規，它們是：- 熱電阻真空規(皮拉尼規) TTR91、TTR91S、TTR96、TTR96S- 冷陰極電離真空規(潘寧規) PTR225- 薄膜電容規 CTR100、CTR91- 薄膜/皮拉尼復合規 TTR100、TTR100S- 冷陰極電離/皮拉尼復合規 PTR90- 熱陰極電離/皮拉尼復合規 ITR90- 便攜式真空表TM90、TM100- 新型Center和Display系列真空計

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